• 工艺及厂务二次配工程

    至纯科技工艺及厂务二次配工程:从主系统预留阀(Take off Valve)接至工艺机台(Tools)的工艺配管工程。

  • 化学品输送系统工程

    至纯科技化学品输送系统工程保证的可靠性—全部重要组分都测试可靠性,在化学品输送到FAB是保证99.5%时间正常运行。为了方便检修,所有阀门数量和过滤器改变点被预编程序。

  • 气体输送系列工程

    至纯科技的气体输送系列工程从气源到使用点,再到尾气处理,从而实现安全稳定、无污染、满足工艺制程要求的供应,环保达标排放;从设计、制造、现场安装调试到运行管理和维护保养等。

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